证券代码：688147 证券简称：微导纳米
江苏微导纳米科技股份有限公司
向不特定对象刊行可蜕变公司债券
召募资金使用可行性分析陈述
二〇二四年五月
江苏微导纳米科技股份有限公司 向不特定对象刊行可蜕变公司债券召募资金使用可行性分析陈述
为了进一步提高江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”或“公司”）
的详细实力和中枢竞争力，公司拟向不特定对象刊行可蜕变公司债券（以下简称“可转
债”）。公司对本次向不特定对象刊行可转债（以下简称“本次刊行”）召募资金使用
的可行性分析如下：
一、本次召募资金使用筹划
本次向不特定对象刊行可转债拟召募资金总和不跳动东谈主民币 117,000.00 万元（含
单元：万元
序号 面貌称呼 面貌投资总和 拟插足召募资金金额
共计 140,000.00 117,000.00
在本次召募资金到位前，公司将笔据召募资金投资面貌实践进程的内容情况通过自
筹资金先行插足，并在召募资金到位后按照关系法例规则的轨范赐与置换。若是本次发
行召募资金扣除刊行用度后少于上述面貌召募资金拟插足的金额，召募资金不及部分由
公司以自筹资金处理。在不改变本次召募资金投资面貌的前提下，公司董事会可笔据项
目标内容需求，对上述面貌的召募资金插足限定和金额进行恰当养息。
二、本次召募资金投资面貌的实践布景
（一）薄膜千里积开发阛阓限制不息增长，发展后劲纷乱
薄膜千里积开发经常用于在基底上千里积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具
备一定的荒芜性能，无为应用于光伏、半导体等规模的分娩制造设施。在光伏规模，薄
膜千里积开发主要应用于太阳能晶硅电板片的制造，其诳骗大约确保膜层的均匀性和通晓
性，从而提高电板的光电蜕变着力和使用寿命；在半导体规模，薄膜千里积开发主要应用
于逻辑、存储芯片的制造过程中，其大约精准、均匀地千里积不同材料的薄膜，调控半导
体器件的电学、光学和磁学性质，进而提高半导体器件的举座性能。
比年来，受益于半导体规模行业景气度的不息攀升，半导体薄膜千里积开发阛阓呈现
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出较好的发展态势。据Maximize Market Research数据，2022年行家半导体薄膜千里积开发
阛阓限制为232.7亿好意思元，集会中国大陆半导体制造开发销售额占行家销售额约26%的比
例测算，2022年国内半导体薄膜千里积开发阛阓限制约为60.5亿好意思元。跟着芯片制造工艺
束缚走向精密化，所需要的薄膜层数越来越多，推动半导体薄膜千里积开发阛阓需求不息
增长，Maximize Market Research展望2029年行家半导体薄膜千里积开发阛阓限制将达559
亿好意思元，同比推算国内阛阓限制将达145.3亿好意思元。
数据开首：Maximize Market Research
（二）半导体阛阓稳中向好，为薄膜千里积开发发展带来新机遇
受宏不雅经济、时期水平、供需关系等多垂危素共同影响，行家半导体产业呈现出螺
旋式增长态势，据World Semiconductor Trade Statistics（以下简称“WSTS”）数据，行家
半导体阛阓限制由2019年的4,123亿好意思元增长至2023年的5,201亿好意思元，CAGR为5.98%；
其中2023年出现旋即下滑，其主要原因系手机、电脑等破钞电子销售低迷。改日，在存
储阛阓高速增长的推动下，行家半导体阛阓限制有望开脱萎缩，展望2024年将增长至
阛阓限制将达2,059亿好意思元。
薄膜千里积开发在半导体规模中主要应用于逻辑、存储芯片的制造以及器件内各式金
属层、介质层、钝化层、起义层、硬掩膜、自瞄准双重成像与部分半导体膜的制备。半
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导体产业限制的不息加多，推动晶圆厂扩产进程束缚加速，从而为薄膜千里积开发阛阓带
来宽阔的发展空间。除此以外，跟着集成电路制造工艺束缚向更先进的制程发展，薄膜
千里积开发不仅要餍足阛阓需求的不息增长，还需粗疏日益严格的时期挑战，阛阓对于高
性能薄膜千里积开发的阛阓需求也在渐渐增长，这为关系开发的研发与制造提供了发展新
机遇。
行家 中国
数据开首：WSTS
三、本次召募资金投资面貌基本情况
（一）半导体薄膜千里积开发智能化工场开发面貌
本面貌拟由公司实践，实践地址位于江苏省无锡市新吴区内，面貌总投资额为
车间，购置先进分娩开发和量测开发，提高公司薄膜千里积开发的分娩身手。
（1）主办阛阓发展机遇，推动半导体产业链国产替代进程
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半导体产业是当代信息社会的基石，其发展水平径直影响我国信息时期、汇集安全
和先进制造竞争力。然而自 2015 年起，好意思国就通过出进口胁制、时期阻塞等多种行径
制约我国半导体产业的发展，这天然给我国关系产业发展带来了一定的困扰，但同期也
催生了国内半导体厂商自主创新、国产替代的强烈需求。为推动我国半导体产业的发展，
国度先后设立国度要紧专项、国度集成电路基金，并颁发了《对于推动高端装备制造业
高质地发展的带领见识》等关系救济政策，使得原土半导体过头开发制造业迎来了前所
未有的发展机会。
薄膜千里积开发看成半导体制造过程中的关节开发，其性能和时期水平径直关系到芯
片的质地和性能。跟着国内半导体阛阓的束缚扩大，对薄膜千里积开发的需求也在不息增
长。然而，现在我国在高端薄膜千里积开发规模基本依赖进口，这不仅加多了分娩资本，
也制约了我国半导体产业的自主可控发展。
因此，积极推动对薄膜千里积开发的扩产和重心时期的突破与创新，对于加速半导体
产业链国产替代进程具有垂危道理。公司看成一家面向行家的半导体、泛半导体高端微
纳装备制造商，现已研制出多种真空薄膜时期梯次发展的薄膜千里积开发居品体系。基于
公司苍劲的时期基础和精湛的阛阓发展机遇，公司筹划进一步扩大分娩限制，插足研发
资源，优化分娩经由，提高产能和着力，助力我国半导体开发国产替代，促进半导体产
业自主可控，推动我国半导体产业链良性发展。
（2）适应行业发展趋势，餍足卑鄙时期需求
现今，科学时期发展马上，半导体产业时期加速更替。由于摩尔定律的推动，晶圆
线宽束缚消弱，集成电路制造工艺向着微型化、各样化和高能效、功能化标的发展，各
类新材料、新结构、新工艺束缚出现。卑鄙居品工艺时期的变革离不开上游装备的升级
换代，卑鄙阛阓时期的束缚更替对公司薄膜千里积开发的工艺时期、性能参数以及薄膜材
料笼罩面建议新的要求。现在，阛阓竞争日益强烈，公司必须紧跟卑鄙时期变化趋势，
养息开发时期工艺，提高居品质能，以餍足下搭客户的阛阓需求。
通过本面貌的开发，公司将不息拓展半导体规模居品的工艺时期类型，并对现存
iTomic 系列和 iTronix 系列居品进行时期升级，延展机台的工艺范围，同期在开发的占
地、产能、资本上进行优化，开发并量产愈加先进的工艺时期。这不仅不错优化公司产
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品结构，为公司创造新的盈利增长点，还不错提高公司居品时期附加值，造成各异化竞
争上风。
（3）扩大公司产能，保险公司高效寄托身手
公司奋勉于于薄膜千里积开发磋议，经过多年发展，造成了以原子层千里积（ALD）时期
为中枢，化学气相千里积（CVD）等多种真空薄膜时期梯次发展的居品体系，笼罩多类工
艺时期和居品类别。现在，公司居品还是笼罩逻辑、存储、新式自满（硅基 OLED 等）
和化合物半导体等规模。比年来，受卑鄙阛阓需求增长影响，公司限制马上膨大，销量
增长马上，公司半导体薄膜千里积开发销售额由 2021 的 0.25 亿元增长到 2023 年的 1.22
亿元，CAGR 为 119.81%。2023 年度，公司新增订单总和约 64.69 亿元，是昨年同期新
增订单的 2.96 倍。甩手 2024 年 3 月 31 日，公司在手订单 81.91 亿元（含 Demo 订单），
其中半导体在手订单量为 11.15 亿元，为保证公司居品寄托质地及寄托身手，公司亟需
推行产能。
本面貌将引进先进分娩开发和考据检测开发，在加多公司产能的同期，进一步提高
质控身手，保险高效通晓的寄托水准；此外，本面貌还将购置数字化系统，搭建智能管
理体系，提高公司分娩着力和运营着力。因此，本面貌的开发是公司终了计谋发展方针，
提高公司详细竞争力的垂危举措。
（1）产业政策救济行业快速发展
跟着数字经济期间的到来，半导体产业看成新一代数字时期的垂危基础，在我国经
济发展中线路着垂危的作用，国度也出台多项政策推动半导体产业链快速发展。国务院
在 2020 年 7 月发布了《新时期促进集成电路产业和软件产业高质地发展的多少政策》
建议，“聚焦高端芯片、集成电路装备和工艺时期、工业软件、应用软件等的关节中枢
时期研发，束缚探索构建社会主义阛阓经济条款下关节中枢时期攻关新式举国体制。”
同期，国度荧惑的集成电路想象、装备、材料、封装、测试企业和软件企业不错减免征
收企业所得税。在 2021 年国度发布了《中华东谈主民共和国国民经济和社会发展第十四个
五年蓄意和 2035 年远景方针节录》、《对于加速训诲发展制造业优质企业的带领见识》
等政策，强调量子信息、集成电路等前沿规模的垂危性，救济荧惑产业创新发展；要开
展协同创新，加大高端仪器开发、集成电路等规模关节中枢时期、居品、装备攻关和示
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范应用。另外，
《“十四五”数字经济发展蓄意》等政策为我国这一阶段在该规模的发展
作念出蓄意，将促进集成电路产业健康进取发展。
本面貌将分娩半导体规模的前端制造开发，是半导体产业链中的关节开发，具有重
大的计谋道理。因此，本面貌得当国度政策教唆和产业蓄意，是切实可行的。
（2）公司丰富的时期工艺积贮保险面貌凯旋进行
自成立以来，公司一直对峙以创新驱动，奋勉于于薄膜千里积开发的研发与制造，还是
领有了丰富的居品与时期积贮。在发展过程中，公司围绕国产化替代的计谋需求，集会
行业内最前沿的时期发展趋势和阛阓需求，针对先进时期和工艺性能，开发了实验室与
研发平台，产出了多项要紧研发后果。现在，公司还是掌持纳米叠层薄膜千里积时期、工
艺开发能量胁制时期等前沿时期，并造成了较强的时期壁垒。甩手 2023 年底，公司累
计获取发明专利 34 项，实用新式专利 94 项，软件著述权 20 项。
本面貌主要分娩半导体规模 iTomic 系列和 iTronix 系列居品，其触及原子层千里积和
化学气相千里积两大类开发。其中，原子层千里积响应器想象时期、高产能真空镀膜时期、
真空镀膜开发工艺响应气体胁制时期等均较为锻真金不怕火，应用熟识度较高，同期公司开发过
程中一直鼓动圭臬化想象、平台化想象理念，不错撑持本面貌居品的分娩行动。因此，
依托公司丰厚的时期教养积贮，本面貌居品分娩不错凯旋实践。
（3）卑鄙不息增长的阛阓需求撑持面貌产能消化
公司薄膜千里积开发属于前谈工艺开发，卑鄙半导体应用规模阛阓远景宽阔。
现今正处于数字经济的发展波澜，卑鄙末端应用规模新址品，新需求束缚表现，市
场限制快速增长。笔据国度统计局公布数据，2023 年我国集成电路产量达到了 3,514.4
亿块，同比增长 8.4%，2019-2023 年 CAGR 为 14.87%，阛阓处于高速增长阶段。同期，
跟着摩尔定律束缚演化，集成电路的特征尺寸及刻蚀沟槽束缚微缩，晶圆制造复杂度和
工序量大幅度提高。在半导体产业链国产化的推动下，国内晶圆厂受到阛阓需乞降工艺
迭代的双重加持，纷繁进行产能推行，这使得其对先进薄膜千里积开发的需求也束缚加多。
在此布景下，公司卑鄙应用阛阓需求隆盛，不错为本行业提供较大的阛阓空间，保
障本面貌居品产能消化。
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本次募投面貌之“半导体薄膜千里积开发智能化工场开发面貌”的投资总和为
本面貌拟在租借口头实践，不触及新增地盘，关系用地已取得地盘使用权证。甩手
本陈述出具之日，本面貌的备案及环评等手续尚在办理过程中。公司将按照国度关系法
律、法例要求实时、合规办理。
（二）研发实验室扩建面貌
本面貌拟由公司实践，实践地址位于江苏省无锡市新吴区内，面貌总投资额为
洁净间，购置先进量测开发，优化公司研发测试环境，提高公司研发身手及科技后果转
化身手。
（1）提高测试身手，餍足客户需求
在薄膜千里积开发的研发制造过程中，量测设施线路着关节作用，其不仅大约提供精
确的数据救济，确保开发的准确性和可靠性，还径直关系到客户的内容需求与舒服度。
跟着半导体时期、纳米科技以及微电子行业的不息演进与更动，阛阓对薄膜千里积开发质
量要求日益提高，客户对开发的性能参数、运行过程中的通晓性和可靠性等方面也建议
更为严格的圭臬。为粗疏这一挑战，公司亟需全面提高量测水顺心检测着力，以确保产
品大约餍足阛阓的高圭臬要求。
通过本面貌的开发，公司将新增各样精密量测仪器，引进关系时期东谈主才，扩建百级
净化车间，从而终了对薄膜性能的多地点检测，更好地餍足客户需求。同期，实验室的
开发回将有助于确保居品品质通晓，从而提高居品在阛阓中的竞争力，为公司业务的持
续、健康发展注入新能源。
（2）优化测试环境，加速科技后果转化着力
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薄膜千里积开发属于时期密集型产业，对企业研发实力与研发团队的专科教训有着极
高要求。现在，公司里面研发东谈主员均具备塌实的时期基础，中枢研发团队经验深厚且拥
有丰富的研发教养及精深的时期身手。然而，跟着公司业务限制的不息增长以及关系研
发面貌的束缚开展，公司现存研发量测开发及东谈主员配置已不及以撑持日益增长的研发需
要，因此，公司亟需进行本面貌的开发。
本面貌将配置行业前沿的量测开发，并招募关系东谈主员，以搭建起专科化的量测实验
室和完善的测试体系，匹配公司研发增长所带来的检测磨练需求。面貌实践后，一方面
将有用优化公司测试环境，眩惑更多优秀东谈主才加入；另一方面，通过对阛阓后劲较大的
时期开发后果进行磋议与测试，不错有用推动新的时期需求与公司业务的深度会通，进
而造成可批量化分娩的高质地居品，显贵提高技术后果的转化着力，最终终了公司薄膜
千里积开发的不息优化与升级。
（3）得当公司发展方针，保持阛阓竞争上风
公司深耕薄膜千里积开发制造规模多年，奋勉于于先进微米级、纳米级薄膜开发的研发、
分娩与应用，将“成为天下级的微纳时期处理决策装备制造商”视为公司改日发展愿景。
现在，公司已造成较为完善的居品研发、分娩制造、营销作事和质地治理体系，凭借丰
富的时期储备已构建起多元化的居品结构。改日，公司将不息围绕阛阓需求，深远自主
创新，加速中枢时期攻关，进一步拓展薄膜千里积时期的应用规模，从而在行家微纳制造
装备规模中占据成心地位。
公司筹划新建量测开发实验室，旨在通过精密测量、时期考据、质地胁制、阛阓应
用及东谈主才培养等关节职责，确保居品质地通晓可靠的同期不息推动时期创新和居品研发，
从而在束缚吐故纳新的阛阓环境中保持竞争上风，为终了天下级微纳时期处理决策装备
制造商的方针提供时期撑持。
（1）深厚的研发测试教养为面貌实践提供有劲撑持
公司高度可爱研发测试职责，不息在研发测试方面进行插足，经过多年的不息发展，
已积贮起深厚的研发测试教养。从居品想象、原型制作到性能测试、可靠性评估的每一
设施，公司均实行严格把控，以确保居品的高质地和高可靠性。现在，公司部分居品经
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过测磨练证后，已终了产业化销售。
在光伏规模，KF、ZR、XH、HY 等系列高端光伏开发的研发过程中，需经历严格
且精采的测试经由，通过模拟内容分娩环境，对居品进行万古期、高强度的性能考据，
确保居品在内容应用中大约通晓、高效运行。在半导体规模，公司中枢居品 High-k 栅
氧层 ALD 开发更是经历了从材料选择、工艺优化到开发集成、性能测试等多个设施的
严格把控。通过与国内主流半导体厂商及考据平台的紧密相助，公司不仅获取了贵重的
居品时期考据教养，还告捷冲突了外洋厂家的时期控制，终昭彰“卡脖子”时期的突破。
在其他应用规模，公司通过束缚的试制、磨练和改造，告捷自主开发出 FG 系列卷对卷
开发。该开发终昭彰在大幅宽材料名义千里积隔断层的功能，并保证了较低的水汽渗入率
和精湛的阻水阻氧身手。综上，公司深厚的研发测试教养不错为本面貌的凯旋实践提供
有劲撑持。
（2）丰富的时期和东谈主才储备为面貌实践奠定基础
公司深耕薄膜千里积开发制造规模多年，恒久对峙以客户需求为导向，高度可爱时期
创新，已在微、纳米级薄膜千里积中枢时期规模积贮起丰富的时期储备。凭借中枢时期的
研发和应用，公司居品在开发性能和关节工艺参数等方面展现出显贵的上风，赢得了下
搭客户的无为招供。此外，公司汇注了一批电气、工艺、机械、软件等多个专科教养丰
富的工程师，造成了跨专科、多档次的东谈主才梯队。公司的研发时期团队结构完善，单干
明确，专科学问储备深厚，产线考据教养丰富，束缚助力卑鄙应用规模关节居品和时期
的攻关与突破。公司中枢筹谋东谈主员和时期东谈主员通晓，跟着东谈主才培养筹划的不息鼓动，将
进一步增强公司研发团队的创新身手，提高职工的详细素质及业务水平。综上，公司丰
富的时期和东谈主才储备为本面貌的凯旋实践提供了较为坚实的基础。
（3）完善的研发治理体系为面貌实践提供轨制保险
公司构建了以研发部门为中枢，销售、分娩、质地、面貌及工程等部门紧密配合的
跨部门研发体系，造成了一套锻真金不怕火且完善的居品研发经由。从需求建议驱动，经过立项
蓄意、开发终了、产业考据，直至产业化应用，每一步齐受命明确的实践圭臬，确保研
发过程的高效鼓动和研发后果质地的通晓可控。
对于中枢时期与治理东谈主员以及资深研发东谈主员，公司实践股权激勉政策，在提高职工
包摄感和职守感的同期，大约确保时期团队的通晓与高效。同期，公司束缚完善研发管
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理机制和创新激勉机制，对在时期研发、居品创新、专利央求等方面作出孝敬的时期研
发东谈主员给予相应的奖励。公司健全的研发治理体系及完善的东谈主才激勉机制有用确保时期
研发过程的严谨性和高效性，为本面貌的凯旋实践提供了轨制保险。
本次募投面貌之“研发实验室扩建面貌”的投资总和为43,000.00万元，拟使用本次
召募资金金额为22,720.00万元。
本面貌拟在租借口头实践，不触及新增地盘，关系用地已取得地盘使用权证。甩手
本陈述出具之日，本面貌的备案及环评等手续尚在办理过程中。公司将按照国度关系法
律、法例要求实时、合规办理。
（三）补充流动资金
公司拟使用本次向不特定对象刊行可蜕变公司债券召募资金中的30,000.00万元用
于补没收司流动资金。
比年来，公司业务保持快速发展，收入和金钱限制稳步提高。跟着业务限制的马上
扩大，公司仅依靠里面筹谋积贮和波折融资较难餍足业务不息快速膨大对营运资金的需
求。本次公司拟将召募资金中的30,000.00万元用于补充流动资金，得当公司所处行业发
展近况及公司业务发展需求。召募资金到位后，公司营运资金需求将得到有用餍足，资
产结构愈加谨慎，可进一步提高公司的举座抗风险身手，保险公司不息通晓发展，具备
必要性和合感性。
四、本次刊行对公司筹谋治理和财务状态的影响
（一）对公司筹谋治理的影响
本次刊行召募资金的诳骗得当国度关系的产业政策以及公司举座计谋发展标的，具
有精湛的阛阓发展远景和经济效益，成心于提高公司详细实力，对公司计谋的终了具有
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积极道理。面貌完成后，将显贵增强公司在薄膜千里积开发制造规模的详细竞争实力，提
高公司不息盈利身手，牢固提高行业地位。本次刊行召募资金的诳骗合理、可行，得当
公司及全体股东的利益。
（二）对公司财务状态的影响
本次刊行完成后，公司总金钱和净金钱限制将有所加多，资金实力将得到强化，资
产欠债率有所裁减，举座财务状态将得到进一步改善，增强公司抵御财务风险的身手，
优化金钱结构，裁减公司的财务风险。
五、论断
说七说八，本次召募资金投资面貌得当国度关系产业政策、行业发展趋势以及公司
改日发展蓄意，具有精湛的阛阓远景和经济效益，对于举座提高公司竞争实力，增强公
可不息发展身手具有垂危的计谋道理。本次召募资金投资面貌具有必要性和可行性，符
合公司及公司全体股东的利益。
江苏微导纳米科技股份有限公司董事会
